|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ПЛЕНОК ОКСИДНЫХ СОЕДИНЕНИЙ |  |
Номер публикации патента: 2330351 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/36 | | Аналоги изобретения: | П.А.Щеглов и др. Неорганические материалы, 2000, т.36, №1, с.77-82. RU 2160329 C1, 10.12.2000. SU 1059028 А, 07.12.1983. WO 03/040441 А1, 15.05.2003. |
| Имя заявителя: | ФГУП "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (RU) | | Изобретатели: | Томашпольский Юрий Яковлевич (RU) | | Патентообладатели: | ФГУП "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области материаловедения, а более конкретно к способам получения эпитаксиальных оксидных пленок, и может быть применено в области микроэлектроники, акусто- и оптоэлектроники, а также в производстве полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: в способе получения эпитаксиальных пленок оксидных соединений, заключающемся в создании на поверхности монокристаллических подложек слоев пленки с измененным по отношению к подложке химическим составом путем нагрева подложки в во
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента