|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК |  |
Номер публикации патента: 2329565 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/304 | | Аналоги изобретения: | RU 2260873 C1, 20.09.2005. RU 2269213 C1, 27.01.2006. SU 1812546 A1, 30.04.1993. US 6368942 В1, 09.04.2002. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) | | Изобретатели: | Никитин Сергей Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной промышленности. Сущность изобретения: в способе получения фотошаблонных заготовок, включающем механическую обработку стеклянных пластин с использованием полировального порошка на основе двуокиси церия и полировального полотна, выполненного из нетканого материала, состоящего из рабочего слоя и приклеечного, обработку в водных растворах органических кислот, обработку в нейтральной водной среде, нанесение маскирующего слоя и резиста, дополнительно между рабочим и
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента