На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСИСТЕМ | |
Номер публикации патента: 2323504 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/98 | Аналоги изобретения: | DE 19826971 А, 05.01.2000. DE 19847088 A1, 18.05.2000. US 6002592 А, 14.12.1999. WO 99/44229 A1, 02.09.1999. US 3712735 А, 23.01.1973. RU 2012090 С1, 30.04.1994. |
Имя заявителя: | МИКРОТЕК ГЕЗЕЛЛЬШАФТ ФЮР МИКРОТЕХНОЛОГИ МБХ (DE) | Изобретатели: | ГЕТЦЕН Райнер (DE) | Патентообладатели: | МИКРОТЕК ГЕЗЕЛЛЬШАФТ ФЮР МИКРОТЕХНОЛОГИ МБХ (DE) |
Реферат | |
Изобретение касается способа и устройства изготовления микросистем. Сущность изобретения: в способе изготовления микросистем с полостями, которые образованы на нескольких уровнях в созданном слоями из фотоотверждаемого материала основном теле, в указанные полости вложены электронные детали, которые связаны друг с другом электрической проводимостью.
|