|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕЛЬЕФА В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ |  |
Номер публикации патента: 2318268 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/308 | | Аналоги изобретения: | RU 2054747 C1, 20.02.1996. RU 2079865 C1, 20.05.1997. RU 99114816 А, 20.05.2001. DE 4310640 C1, 11.05.1994. |
| Имя заявителя: | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ Омский научно-исследовательский институт приборостроения ФГУП ОНИИП (RU) | | Изобретатели: | Корж Иван Александрович (RU) | | Патентообладатели: | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ Омский научно-исследовательский институт приборостроения ФГУП ОНИИП (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для получения рельефа в диэлектрических и пьезоэлектрических подложках, содержащих в своем составе двуокись кремния, при изготовлении микромеханических приборов, кварцевых резонаторов и т.д. Сущность изобретения: в способе получения рельефа в диэлектрической подложке, включающем нанесение на подложку защитной маски в виде многослойной тонкопленочной системы двух материалов и формирование конфигурации защитной маски, травление подл
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента