|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОТМЫВКИ И СУШКИ ПЛОСКИХ СТЕКЛЯННЫХ ПОДЛОЖЕК |  |
Номер публикации патента: 2309481 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | US 5520744 А, 28.05.1996. RU 2118013 C1, 20.08.1998. RU 2231168 C1, 20.06.2004. US 5361789 A, 08.11.1994. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (ОАО "НИИПМ") (RU),Общество с ограниченной ответственностью "Новые технологии и оборудование" (ООО "НТО") (RU),Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Министерство обороны Российской Федерации (RU) | | Изобретатели: | Завалишин Александр Александрович (RU)
Нагуманов Махьян Лукманович (RU)
Быкова Людмила Юлиановна (RU) | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (ОАО "НИИПМ") (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "Новые технологии и оборудование" (ООО "НТО") (RU)
Российская Федерация
от имени которой выступает государственный заказчик - Министерство обороны Российской Федерации (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технике групповой обработки плоских стеклянных подложек и может быть использовано при производстве изделий электронной техники. Техническим результатом изобретения является повышение качества обработки, обеспечение автоматизации процесса в гибком производстве, упрощение конструкции.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента