|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РАСТВОР ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО РАСТВОРЕНИЯ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2308786 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/3063 | | Аналоги изобретения: | Ефимов Е.А., Ерусалимчик И.Г. Электрохимия германия и кремния. - М.: Гос.Химиздат, 1963. RU 2133997 C1, 27.07.1999. US 6726815 B1, 27.04.2004. GB 1145876 A, 19.03.1969. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Брянская государственная инженерно-технологическая академия" (RU) | | Изобретатели: | Голубчик Евгений Маркович (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Брянская государственная инженерно-технологическая академия" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной промышленности, а именно к технологии обработки полупроводниковых материалов, и может быть использовано при обработке полупроводниковых пластин кремния. Сущность изобретения: раствор для электрохимического растворения кремния содержит хлорид аммония, а в качестве растворителя - мочевину при следующем соотношении компонентов, мас.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента