|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК |  |
Номер публикации патента: 2307423 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/302 | | Аналоги изобретения: | RU 2208920 C1, 20.07.2003. RU 2002338 C1, 30.10.1993. SU 1033466 A1, 07.08.1983. ETO. 035.088. TK1, 1984. US 6368942 B1, 09.04.2002. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) | | Изобретатели: | Никитин Сергей Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной промышленности. Сущность изобретения: в способе получения фотошаблонных заготовок полирование проводят в две стадии, первую стадию предварительного полирования проводят с использованием перфорированного полировального полотна на основе синтетических волокон диаметром 8-10 мкм при объемной плотности 0,25 г/см3, причем отверстия перфорации расположены в шахматном порядке, при отношении перфорированной площади к неперфорированной 0,08-0,09:1 при воздействии ультра
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента