|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФТОРПОЛИМЕРНОГО СЛОЯ НА ТОНКОПЛЕНОЧНОМ ПРИБОРЕ |  |
Номер публикации патента: 2304323 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | ЕР 1119034 А, 25.07.2001. US 6156435 А, 05.12.2000. RU 2046678 С1, 27.10.1995. ЕР 1150345 А, 31.10.2001. |
| Имя заявителя: | Е.И.ДЮПОН ДЕ НЕМУР ЭНД КОМПАНИ (US) | | Изобретатели: | МОКЕЛЛА Майкл (US)
ФЕЙРИНГ Эндрю Э. (US)
ТРИТ Теодор А. (US)
ЛОПАТА Юджин (US)
РОУЗ Питер (US)
БРИЧКО Яков (US) | | Патентообладатели: | Е.И.ДЮПОН ДЕ НЕМУР ЭНД КОМПАНИ (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии тонкопленочных приборов. Сущность изобретения: способ получения фторполимерного слоя на тонкопленочном приборе включает: а) подачу фтормономера в газовой фазе и инициатора в газовой фазе свободной радикальной полимеризации к указанному тонкопленочному прибору, b) смешивание указанного фтормономера в газовой фазе и указанного инициатора в газовой фазе свободной радикальной полимеризации для образования газофазной смеси указанного фтормономера и указанного инициат
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента