|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СОЗДАНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННО - ОБЪЕМНОЙ СТРУКТУРЫ |  |
Номер публикации патента: 2302054 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/26 | | Аналоги изобретения: | RU 2243613 C1, 27.12.2003. RU 2183882 C2, 28.01.1999. RU 2210834 C2, 20.08.2003. US 5572409 A1, 05.11.1996. US 5677041 A1, 14.10.1997. |
| Имя заявителя: | Гурович Борис Аронович (RU) | | Изобретатели: | Гурович Борис Аронович (RU) | | Патентообладатели: | Гурович Борис Аронович (RU) |
Реферат | |
Изобретение может найти применение в микроэлектронике при изготовлении интегральных схем различного назначения, средств хранения информации и т.п. Изобретение направлено на повышение плотности размещения элементов структур, формируемых с использованием пучка ускоренных частиц, за счет мер, позволяющих избежать проявления эффектов, связанных с образованием колбы рассеяния, а также расширение номенклатуры типов двух или многоатомных химических соединений, используемых в качестве рабочих слоев, - вк
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента