|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ САМОСОВМЕЩЕННОГО БиКМОП ПРИБОРА |  |
Номер публикации патента: 2295800 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/8248 | | Аналоги изобретения: | RU 2234162 С2, 10.08.2004. RU 2234165 C1, 10.08.2004. RU 2003133110 А, 20.04.2005. US 6180442 B1, 30.01.2001. US 5504364 А, 02.04.1996. |
| Имя заявителя: | Государственное учреждение Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (RU) | | Изобретатели: | Грибова Марина Николаевна (RU)
Манжа Николай Михайлович (RU)
Рыгалин Борис Николаевич (RU)
Сауров Александр Николаевич (RU) | | Патентообладатели: | Государственное учреждение Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (RU) |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, технология изготовления самосовмещенных БиКМОП структур в составе ИМС. Сущность изобретения: в способе изготовления самосовмещенного БиКМОП прибора окна под все области биполярных и МОП транзисторов, а также изолирующих областей вскрывают одновременно в третьем, во втором диэлектрических слоях и первом слое поликристакллического кремния до первого диэлектрического слоя.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента