|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ОБРАБОТКИ, СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖКИ И РАСШИРИТЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО ДЕРЖАТЕЛЯ |  |
Номер публикации патента: 2295799 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/68 | | Аналоги изобретения: | ЕР 1111661 А2, 27.06.2001. US 6159055 А, 12.12.2000. ЕР 0512936 A1, 11.11.1992. SU 17623339 A1, 15.09.1992. |
| Имя заявителя: | ЛЭМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US) | | Изобретатели: | СЕКСТОН Грег (US)
ШОЕПП Алан (US)
КЕННАР Марк Аллен (US) | | Патентообладатели: | ЛЭМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины. Сущность изобретения: электростатический держатель для использования в вакуумной камере высокотемпературной обработки содержит корпус держателя, содержащий электростатический фиксирующий электрод и нагревательный элемент, при этом электрод выполнен с возможностью электростатического фиксирования подложки на наружной поверхности корпуса держателя, теплопередающий корпу
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента