|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ, СОДЕРЖАЩЕГО КРЕМНИЕВУЮ ПОДЛОЖКУ С ПЛЕНКОЙ ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ НА ЕЕ ПОВЕРХНОСТИ |  |
Номер публикации патента: 2286616 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/205 | | Аналоги изобретения: | JP 2001085341 А, 30.03.2001. JP 3197392 А, 28.08.1991. US 6773508 А, 10.08.2004. SU 552860 A1, 20.06.2000. |
| Имя заявителя: | ФОНД ПОДДЕРЖКИ НАУКИ И ОБРАЗОВАНИЯ (RU),ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ "СОЗВЕЗДИЕ" (ООО "УК "СОЗВЕЗДИЕ") (RU) | | Изобретатели: | Гордеев Сергей Константинович (RU)
Корчагина Светлана Борисовна (RU)
Кукушкин Сергей Арсеньевич (RU)
Осипов Андрей Викторович (RU) | | Патентообладатели: | ФОНД ПОДДЕРЖКИ НАУКИ И ОБРАЗОВАНИЯ (RU)
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ "СОЗВЕЗДИЕ" (ООО "УК "СОЗВЕЗДИЕ") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов и может быть использовано при создании полупроводниковых приборов. Техническим результатом изобретения является упрощение технологии изготовления изделия. Сущность изобретения: в способе изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности, включающем синтез пленки карбида кремния на поверхности подложки путем совместного нагрева подложки и углеродсодержащего материала, в каче
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента