|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПЛАСТИНЫ ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕМ |  |
Номер публикации патента: 2278443 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/312 | | Аналоги изобретения: | RU 2094903 C1, 27.10.1997. RU 2093921 C1, 20.10.1997. RU 2158987 C1, 10.11.2000. SU 1115137 А, 23.09.1984. SU 555917 A, 20.06.1977. JP 57130570 А, 13.08.1982. JP 63301520 A, 08.12.1988. JP 1025536 А, 27.01.1989. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежская государственная технологическая академия" (RU) | | Изобретатели: | Абрамов Геннадий Владимирович (RU)
Попов Геннадий Васильевич (RU)
Хоботнев Олег Юрьевич (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежская государственная технологическая академия" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к полупроводниковому производству, в частности к процессам фотолитографии при нанесении фоторезиста на пластины, а также может использоваться при получении других полимерных покрытий центрифугированием. Техническим результатом изобретения является устранение разрывов пленки при формировании покрытия в случае отклонения коэффициента поверхностного натяжения жидкости от исходного значения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента