|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК |  |
Номер публикации патента: 2274925 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/302 | | Аналоги изобретения: | RU 2208920 C1, 20.07.2003. RU 2002338 C1, 30.10.1993. SU 1033466 A1, 07.08.1983. US 6368942 В1, 09.04.2002. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) | | Изобретатели: | Никитин Сергей Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) |
Реферат | |
Использование: в электронной технике для получения фотошаблонных заготовок. Сущность изобретения: способ получения фотошаблонных заготовок включает механическую и химическую обработку стеклянных пластин, размещение их в вакуумной камере и нанесение маскирующего слоя хрома путем нагрева испарителя с хромом в атмосфере азота до достижения требуемой оптической плотности, отмывку пластин, нанесение резиста и контроль.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента