|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК |  |
Номер публикации патента: 2260873 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/304 | | Аналоги изобретения: | Электронная промышленность, вып.8-9, 1980, стр.100-110. RU 2002338 C1, 30.10.1993. SU 1033466 А, 07.08.1983. JP 2004054285 А, 19.02.2004. US 6368942 В1, 09.04.2002. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) | | Изобретатели: | Никитин С.А. (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) |
Реферат | |
Использование: в электронной промышленности. Сущность изобретения: способ получения фотошаблонных заготовок включает механическую обработку стеклянных пластин с использованием полировальных порошков на основе двуокиси церия и полировальных полотен на основе нетканых материалов, обработку в водных растворах органических кислот, обработку в нейтральной водной среде с последующим обезвоживанием, сушкой, контролем.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента