|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СТАНОК ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2260872 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/302 | | Аналоги изобретения: | WO 9940611 А, 12.08.1999. US 5933902 А, 10.08.1999. US 4208760 А, 24.06.1980. ЕР 0718871 А, 26.06.1996. ЕР 0526245 А, 03.02.1993. SU 1771164 A1, 30.03.1994. |
| Имя заявителя: | ЛАМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US) | | Изобретатели: | ДЖОУНС Оливер Дейвид (US)
ФРОСТ Дейвид Т. (US)
ДЬЮИТ Джон Г. (US) | | Патентообладатели: | ЛАМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US) |
Реферат | |
Использование: для обработки полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: станок для обработки полупроводниковых пластин содержит пару опорно-приводных роликов, которые служат опорами для вертикально расположенной полупроводниковой пластины и приводятся во вращение соединенным с ними приводным ремнем.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента