|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 2258978 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/304 | | Аналоги изобретения: | RU 1738035 С, 15.06.1994. SU 1792557 A3, 10.01.1995. RU 1598778 C, 30.11.1994. JP 59117219 А, 06.07.1984. |
| Имя заявителя: | Государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Пульсар" (RU) | | Изобретатели: | Рогов В.В. (RU)
Константинов П.Б. (RU) | | Патентообладатели: | Государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Пульсар" (RU) |
Реферат | |
Использование: в полупроводниковой технике при изготовлении супертонких полупроводниковых структур, имеющих толщину подложки на уровне 6-50 мкм. Техническим результатом заявленного изобретения является повышение качества и точности обработки полупроводниковых структур за счет сочетания групповой и индивидуальной технологии и возможности индивидуальной механической обработки полупроводниковых структур при утонении нерабочей стороны до заданной фиксированной толщины.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента