|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКОВ |  |
Номер публикации патента: 2257603 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/20 G02B026/06 H01L021/027 | | Аналоги изобретения: | US 5672464 А, 30.09.1997. ЕР 0710890 А1, 08.05.1996. US 5691541 A, 25.11.1997. US 5539568 A, 23.07.1996. ЕР 0467076 А2, 22.01.1992. RU 2029980 C1, 27.02.1995. |
| Имя заявителя: | МИКРОНИК ЛАЗЕР СИСТЕМЗ АБ (SE) | | Изобретатели: | САНДСТРЕМ Торбьерн (SE) | | Патентообладатели: | МИКРОНИК ЛАЗЕР СИСТЕМЗ АБ (SE) |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к устройству, предназначенному для создания рисунка с чрезвычайно высоким разрешением на заготовке, например, такого как рисунок на полупроводниковом чипе с линиями шириной 50 мм. Сущность изобретения: устройство содержит источник для испускания электромагнитного излучения в диапазоне длин волн 100 нм и ниже, пространственный модулятор, имеющий множество пикселей, электронную систему обработки и подачи данных, принимающую цифровое описание рисунка, подлежащего
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента