|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТНОСТИ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ |  |
Номер публикации патента: 2256256 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | RU 2150158 C1, 27.05.2000. RU 2185684 C1, 20.07.2002. US 6411906 B1, 25.06.2002. JP 2000031229 А, 28.01.2000. |
| Имя заявителя: | Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Министерство Российской Федерации по атомной энергии (RU),Федеральное Государственное Унитарное предприятие научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е.Седакова (RU) | | Изобретатели: | Смолин В.К. (RU)
Скупов В.Д. (RU)
Малков А.Ю. (RU) | | Патентообладатели: | Российская Федерация
от имени которой выступает государственный заказчик - Министерство Российской Федерации по атомной энергии (RU)
Федеральное Государственное Унитарное предприятие научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е.Седакова (RU) |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к неразрушающим способам диагностики структурного совершенства эпитаксиальных слоев кремния, выращенных на диэлектрических подложках, и может использоваться в технологии микроэлектроники для контроля качества приборных слоев в композиции типа “кремний на сапфире”.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента