На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПРОФИЛИРОВАНИЯ ТУГОПЛАВКИХ И ХИМИЧЕСКИ СТОЙКИХ МАТЕРИАЛОВ | |
Номер публикации патента: 2252280 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B033/08 C30B033/04 H01L021/302 | Аналоги изобретения: | US 3095341 А, 25.06.1963. JP 61-170033 А, 31.07.1986. GB 2227701 А, 08.08.1990. ЕР 0261040 А1, 23.03.1988. |
Имя заявителя: | Сибирская государственная геодезическая академия (СГГА) (RU) | Изобретатели: | Чесноков Д.В. (RU) | Патентообладатели: | Сибирская государственная геодезическая академия (СГГА) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способам термохимического травления тугоплавких химически стойких материалов, в частности к методам локального травления их поверхности, например, с использованием локального лазерного облучения. Сущность изобретения: способ профилирования изделий из тугоплавких и химических стойких материалов путем травления их поверхности наносимым на поверхность слоем взаимодействующего с ними вещества при нагреве заключается в том, что нанесение слоя вещества производят локальным возде
|