|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ТРАВЛЕНИЯ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ АКТИНОМЕТРИЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2248646 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | WO 97/02593 А1, 23.01.1997. J.W.Coburn, М.Chen. Optical Emission Spectroscopy of Reactive Plasmas: А Method for Correlating Emission Intensities to Reactive Particle Density. J.Appl.Phys. v.51, №6, р.3134-3136, 1980. RU 2091905 С1, 27.09.1997. JP 2003092286, 28.03.2003. |
| Имя заявителя: | Физико-технологический институт РАН (RU) | | Изобретатели: | Валиев К.А. (RU)
Орликовский А.А. (RU)
Руденко К.В. (RU)
Семин Ю.Ф. (RU)
Суханов Я.Н. (RU) | | Патентообладатели: | Физико-технологический институт РАН (RU) |
Реферат | |
Использование: при контроле плазмохимических процессов травления в технологии изготовления полупроводниковых приборов в микро- и наноэлектронике. Сущность изобретения: для контроля в реальном времени процессов плазмохимического травления дифференциальной оптической актинометрией выполняется смешение газа - источника химически активных частиц и инертного газа-актинометра, удовлетворяющего условиям оптической актинометрии, в известной пропорции, их подача в камеру реактора и последующее измерение и
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента