|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНОГО ИЗГИБА ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ ЗОН ПОЛУПРОВОДНИКА |  |
Номер публикации патента: 2248068 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | БОРМОНТОВ Е.Н. и др., Определение параметров границы раздела диэлектрик-полупроводник методом вибрационного динамического конденсатора. Конденсированные среды и межфазные границы. 1999, т.1, №1, с.98-101. RU 2117956 С1, 20.08.1998. RU 2028697 С1, 09.02.1995. RU 2212078 С1, 10.09.2003. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежская государственная технологическая академия" (RU) | | Изобретатели: | Крячко В.В. (RU)
Линник В.Д. (RU)
Бутусов И.Ю. (RU)
Сыноров Ю.В. (RU)
Сысоев А.Б. (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежская государственная технологическая академия" (RU) |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к области электроизмерительной техники и может быть использовано для бесконтактного определения приповерхностного изгиба зон полупроводниковых образцов, включая пластины с естественным окислом или нанесенным диэлектриком методом измерения контактной разности потенциалов между поверхностью и вибрирующим зондом Кельвина.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента