|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО (ВАРИАНТЫ) ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ УСТРОЙСТВАХ |  |
Номер публикации патента: 2224329 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/321 | | Аналоги изобретения: | US 5567300 А, 22.10.1996. US 5284554 А, 08.02.1994. US 5620581 А, 15.04.1997. WO 90/00476 А, 25.01.1990. SU 463174 А, 30.06.1975. |
| Имя заявителя: | Эй Си Эм РИСЕРЧ, ИНК. (US) | | Изобретатели: | ВАНГ Хью (US) | | Патентообладатели: | Эй Си Эм РИСЕРЧ
ИНК. (US) |
Реферат | |
Использование: технология полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: устройство электролитической полировки для полировки металлического слоя, сформированного на полупроводниковой пластине, содержит электролит, гнездо для полировки, патрон для полупроводниковых пластин, впускные отверстия для текучей среды и по меньшей мере один катод.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента