На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ПЛАСТИН ИЗ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ В КООРДИНАТНОЙ СИСТЕМЕ ОТСЧЕТА УСТАНОВКИ ДЛЯ АБРАЗИВНОЙ РЕЗКИ ПЛАСТИН НА "ЧИП"Ы | |
Номер публикации патента: 2220474 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/304 | Аналоги изобретения: | ШУВАЕВ Г.В. и др. Резка неметаллических материалов алмазными кругами. - М.: Машиностроение, 1989, с.15-18. RU 2182530 С2, 20.05.2002. RU 2165348 С1, 20.04.2001. US 4412121 А, 25.10.1983. |
Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Экспериментальный научно-исследовательский институт металлорежущих станков" | Изобретатели: | Кагановский И.П. Рейблат Г.М. Якунин В.А. Черпаков Б.И. Эстерзон М.А. Сахарова О.П. | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Экспериментальный научно-исследовательский институт металлорежущих станков" |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника. Перед резкой пластины с нанесенной на ее поверхность сеткой формируют и визуализируют на экране устройства визуализации виртуальную систему юстировки, которую координатно адаптируют с проекцией режущей кромки инструмента на плоскость предметного стола (ПС), а также с проекцией оси поворота ПС на эту плоскость.
|