|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДОЗЫ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2204872 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | SU 1786542 А, 07.01.1993. SU 1618222 А, 30.09.1991. SU 1559983 C, 09.01.1995. RU 93032267 А, 20.10.1995. RU 98100676 А, 10.10.1999. |
| Имя заявителя: | Воронежский государственный технический университет | | Изобретатели: | Митрохин В.И.
Рембеза С.И.
Ярославцев Н.П. | | Патентообладатели: | Воронежский государственный технический университет |
Реферат | |
Использование: для анализа материалов с помощью физических средств при изготовлении полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: для контроля дозы ионного легирования в подложке измеряют величину внутреннего трения до ионного легирования Q-1, величину внутреннего трения после ионного легирования Q-1 и.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента