|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РЕЗКИ ОБЪЕМНЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ КАРБИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2202135 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/304 | | Аналоги изобретения: | РУБЦОВ Н.Н., ГОРЫНИН В.Н. Некоторые технологические характеристики электроискровой обработки материалов. Электронная обработка материалов. - М.: Электроника, №4, 1966, с.40-48. US 5180469 A, 19.01.1993. JP 05-116138 А, 14.05.1993. RU 2137251 C1, 10.09.1999. |
| Имя заявителя: | Карачинов Владимир Александрович | | Изобретатели: | Карачинов В.А. | | Патентообладатели: | Карачинов Владимир Александрович |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии электронного приборостроения. Предложен способ резки объемных монокристаллов карбида кремния, включающий инициирование электроискрового разряда в водной среде между кристаллом и металлическим электродом. При этом перед инициированием электрического разряда на поверхности кристалла создают короткозамкнутый виток, а электрический разряд инициируют в кристаллографическом направлении при межэлектродном зазоре не более 300 мкм.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента