|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОБРАБОТКИ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НА ДИЭЛЕКТРИКЕ" |  |
Номер публикации патента: 2193257 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/322 | | Аналоги изобретения: | RU 2137253 С1, 10.09.1999. КРАВЧЕНКО В.М., БУДЬКО М.С. Современное состояние КНД технологии. /Зарубежная электронная техника, 1989, №9 (340), с. 3-54. US 6083324 А, 04.07.2000. JP 1225130 А, 08.09.1989. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Скупов В.Д.
Смолин В.К. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано при создании структур "кремний на диэлектрике", предназначенных для изготовления дискретных приборов и интегральных схем, стойких к воздействию дестабилизирующих факторов. Технический результат: улучшение структурного совершенства пленок кремния в структурах "кремний на диэлектрике".
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента