На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ" | |
Номер публикации патента: 2193256 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/322 | Аналоги изобретения: | RU 2139595 С1, 10.10.1999. УЭБЕР С. Эффективные методы изготовления СБИС повышенной радиационной стойкости. - Электроника. 1987, т.60, № 24, с. 48-52. RU 2137252 С1, 10.09.1999. JP 1226168 А, 08.09.1989. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Изобретатели: | Скупов В.Д. Смолин В.К. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано для создания структур "кремний на изоляторе", предназначенных для изготовления дискретных приборов и интегральных схем, стойких к действию дестабилизирующих факторов. Технический результат: повышение качества приборных слоев структур "кремний на изоляторе" за счет снижения их дефектности.
|