|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЭРОЗИОННОГО КОПИРОВАНИЯ КАРБИДОКРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 2189664 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/461 | | Аналоги изобретения: | Окунев А.О. Рентгенологографический анализ дефектов структуры монокристаллического карбида кремния. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физ.-матем. наук, НовГУ им. Ярослава Мудрого. - Новгород, 1999, с.16-17. SU 1293914 А1, 09.08.1995. RU 1715133 С, 20.08.1995. |
| Имя заявителя: | Карачинов Владимир Александрович | | Изобретатели: | Карачинов В.А. | | Патентообладатели: | Карачинов Владимир Александрович |
Реферат | |
Использование: в технологии электронного приборостроения, а именно в способах размерного профилирования кристаллов карбида кремния для получения структур различной конфигурации. Сущность изобретения: способ эрозионного копирования карбидокремниевых структур, включающий создание на одной из сторон подложки электропроводящего слоя с проводимостью не менее 710-1 Ом-1см-1 и последующее инициирование электроискрового разряда в водной среде между полупроводниковой подложкой и металлическим электродом.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента