|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2179351 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | ПАЛАТНИК Л.С. и др. Поры в пленках. - М.: ЭНЕРГОИЗДАТ, с.180-190. КУРНОСОВ А.И. и др. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высшая школа, 1986, с.134-135. RU 2033660 С1, 20.04.1995. RU 2095885 С1, 10.11.1997. RU 2127927 С1, 20.03.1999. JP 04129241 А, 30.04.1992. GB 2095398 А, 29.09.1982. US 4448527 А, 15.05.1984. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Скупов В.Д.
Смолин В.К. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: в технологии микроэлектроники для контроля качества подзатворных диэлектриков, маскирующих, защитных или изолирующих слоев. Технический результат способа - повышение чувствительности контроля дефектности диэлектрических пленок за счет снижения экранирующего дефекты влияния примесей. Сущность изобретения: способ контроля дефектности пленок включает эллипсометрические измерения показателя преломления пленки. Перед измерениями к пленке перпендикулярно ее поверхности в течение 90-120 мин прикладывают постоянное электрическое напряжение, величина которого в 10-50 раз меньше напряжения пробоя, о степени дефектности пленки судят по скорости изменения ее показателя преломления после снятия напряжения. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента