|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНЫХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2176421 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/316 | | Аналоги изобретения: | ЗЕЛИКМАН А.Н. и др. Ниобий и тантал. - М.: Металлургия, 1990, с.89-93. ЧЕРНЯЕВ В.Н. Технология производства интегральных схем и микропроцессоров. - М.: Радио и связь, 1987, с.435-436. RU 2092441 С1, 10.10.1997. US 4741894 А, 03.05.1988. |
| Имя заявителя: | Дагестанский государственный технический университет | | Изобретатели: | Шахмаева А.Р.
Исмаилов Т.А.
Саркаров Т.Э.
Гаджиев Х.М. | | Патентообладатели: | Дагестанский государственный технический университет |
Реферат | |
Использование: в технологии получения полупроводниковых приборов, в частности в способах получения пленочных диэлектриков, из которых наиболее широко используемым является окись тантала (Та2О5). Техническим результатом изобретения является получение пленки окиси тантала при низких температурах. Сущность изобретения: на поверхности подложки формируют тонкопленочный диэлектрик окиси тантала при температурах 180-400oС осаждением из газовой фазы за счет реакции между пентохлоридом тантала с кислородо
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента