|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРОФОСФОРСИЛИКАТНЫХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2173912 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/316 | | Аналоги изобретения: | RU 2129321 C1, 20.04.1999. RU 2059323 C1, 27.04.1996. US 4546016 A, 08.10.1985. EP 0635877 A2, 25.01.1995. EP 0196806 A1, 08.10.1986. US 5656556 A, 12.08.1997. |
| Имя заявителя: | Дагестанский государственный технический университет | | Изобретатели: | Шахмаева А.Р.
Исмаилов Т.А.
Саркаров Т.Э.
Гаджиев Х.М.
Гаджиева С.М. | | Патентообладатели: | Дагестанский государственный технический университет |
Реферат | |
Использование: в технологии получения полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: на поверхности подложки формируют легированный бором и фосфором слой двуокиси кремния при 50-200°С, осаждением из газовой фазы за счет реакций между тетрахлоридом кремния, трихлорида бора, трихлорида фосфора с кислородом и окисью азота. Техническим результатом изобретения является снижение температуры процесса.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента