|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБЛАСТЕЙ ИСТОКА МАТРИЦЫ ЗАПОМИНАЮЩИХ ЯЧЕЕК БЫСТРОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКИ СТИРАЕМОГО ПРОГРАММИРУЕМОГО ПОСТОЯННОГО ЗАПОМИНАЮЩЕГО УСТРОЙСТВА |  |
Номер публикации патента: 2168241 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/8247 | | Аналоги изобретения: | US 4513397 A, 23.04.1985. WO 83/03167 A1, 15.09.1983. SU 1487759 A1, 23.09.1992. Голтвянский Ю.В. и др. Запись информации в МНОП-элемент памяти инжекцией горячих электронов. Электронная техника. Сер.3. Микроэлектроника, 1985, вып.1 (ИЗ), с.30 - 35. |
| Имя заявителя: | СИМЕНС АКЦИЕНГЕЗЕЛЛЬШАФТ (DE) | | Изобретатели: | Мартин КЕРБЕР (DE) | | Патентообладатели: | СИМЕНС АКЦИЕНГЕЗЕЛЛЬШАФТ (DE) |
Реферат | |
Использование: при изготовлении запоминающих ячеек. Сущность изобретения: для защитной изоляции на полупроводниковую подложку наносят многослойную структуру (сэндвич) оксид кремния-поликристаллический кремний-оксид кремния. Для легирования областей истока и соединительных дорожек истока наносят маску фоторезиста, которая оставляет свободными области между шинами слов соответствующей пары шин слов.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента