

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Номер публикации патента: 2167470

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	99108270/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	H01L021/66
Аналоги изобретения:	RU 2033660 C1, 20.04.1995. RU 2095885 C1, 10.11.1997. RU 2127927 C1, 20.03.1999. JP 04129241 A, 30.04.1992. JP 54140869 A, 01.11.1979. GB 2095398 A, 29.09.1982. US 4448527 A, 15.05.1984.

Имя заявителя:	Научно-исследовательский институт измерительных систем
Изобретатели:	Скупов В.Д. Смолин В.К.
Патентообладатели:	Научно-исследовательский институт измерительных систем

Реферат

Использование: в неразрушающих способах диагностики структурного совершенства диэлектрических слоев, осажденных на полупроводниковую подложку. Сущность изобретения: в способе контроля дефектности диэлектрических пленок, включающем эллипсометрические измерения показателя преломления пленки, при измерении пленку упруго деформируют, создают в ней растягивающие напряжения и по изменению показателя преломления при деформации судят о дефектности пленки.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"