|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТНОСТИ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ |  |
Номер публикации патента: 2150158 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/66 | | Аналоги изобретения: | RU 2033660 C1, 20.04.1995. RU 2095885 C1, 10.11.1997. RU 2127927 C1, 27.10.1998. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Латышева Н.Д.
Скупов В.Д.
Смолин В.К. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: в технологии микроэлектроники для контроля качества приборных кремниевых слоев в композициях типа кремний на диэлектрике. Сущность: способ включает эллипсометрические измерения показателя преломления пленок, по характеру изменения которого при нагреве структур от комнатной температуры до 350-400 К судят о качестве пленок, перед измерениями показателя преломления структуры в течение 1-5 мин обрабатывают ультразвуком с частотой 20-40 кГц в химически неактивной жидкости.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента