|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО НАРАЩИВАНИЯ ОГРАНИЧЕННО РАСТВОРИМОГО АМФИФИЛЬНОГО ВЕЩЕСТВА |  |
Номер публикации патента: 2137250 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/208 | | Аналоги изобретения: | Лучинин В.В. и др. Гетероструктуры на основе пленок Ленгмюра-Блоджет амфифильных веществ. Петербургский журнал электроники, 1995, N 2, с. 21 - 30. RU 2102814 C1, 20.01.98. US 5079179 A, 07.01.92. WO 8303165 A1, 15.09.83. FR 2321769 A, 18.03.77. |
| Имя заявителя: | Центр технологии микроэлектроники | | Изобретатели: | Лучинин В.В.
Дунаев А.Н.
Пасюта В.М. | | Патентообладатели: | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
Центр технологии микроэлектроники |
Реферат | |
Использование: при получении моно- и мультислойных структур низкомолекулярных и высокомолекулярных соединений, преимущественно ограниченно растворимого амфифильного вещества (ОРАФВ) из жидкой фазы. Сущность изобретения: способ предусматривает перенесение поверхностного слоя слабоконцентрированной жидкой фазы ОРАФВ на подложку под контролем поверхностного давления на границе раздела жидкой фазы с атмосферой и его регулированием с помощью поджимающего барьера. Наращивание проводят на установке, защищенной от вибрации до уровня, не воспринимаемого системой измерения поверхностного давления чувствительностью 0,05 мН/м, жидкую фазу формируют в дистиллированной воде, имеющей поверхностное давление на границе раздела с атмосферой 72±1 мН/м, и выдерживают в установке до наступления квазиравновесного состояния, после чего в жидкую фазу погружают подложку со скоростью не менее 5 мм/мин, а затем извлекают из нее со скоростью 1 - 2 мм/мин, причем при переносе поверхностного слоя на подложку регулируют поверхностное давление на границе жидкой фазы с атмосферой из расчета π = 1,2πp±0,1, где π - заданное значение поверхностного давления; πp -поверхностное давление на границе раздела жидкой фазы с атмосферой в квазиравновесном состоянии. Техническим результатом изобретения является повышение надежности способа. 3 з.п.ф-лы, 6 табл., 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента