На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ЗАЩИТА ОТ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО РАЗРЯДА ДАТЧИКОВ НА ИОННО - СЕЛЕКТИВНЫХ ПОЛЕВЫХ ТРАНЗИСТОРАХ | |
Номер публикации патента: 2134877 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G01N027/414 H01L021/70 | Аналоги изобретения: | US 4589970 A, 20.05.86. US 4851104 A, 25.07.89. EP 0139312 A2, 02.05.85. EP 0149330 A1, 24.07.85. SU 1775658 A1, 15.11.92. |
Имя заявителя: | Ханивелл Инк. (US) | Изобретатели: | Рональд Д.Бакстер (US) Джеймс Г.Коннери (US) Джон Д.Фогель (US) Спенсер В.Силверторн (US) | Патентообладатели: | Ханивелл Инк. (US) | Номер конвенционной заявки: | 183733 | Страна приоритета: | US |
Реферат | |
Использование: производство микросхем, обеспечивающих защиту приборов для избирательного измерения ионов в жидкостях, от электростатических разрядов. Сущность изобретения: представлены способ, устройство и технология изготовления микросхемы, которые обеспечивают защиту от электростатического разряда (ЭСР) для основанного на ионно-селективном полевом транзисторе (ИСПТ) прибора (250), используемого для избирательного измерения ионов в жидкости (299). В соответствии с одним аспектом изобретения схема защиты от ЭСР, сделанная из обычных защитных элементов (201, 202, 206), объединена на том же кремниевом кристалле, на котором сформирован ИСПТ (250), наряду с устройством сопряжения (203), которое находится в контакте с измеряемой жидкостью (299), и которое не открывает путей для токов утечки постоянного тока между ИСПТ (250) и жидкостью (299). В соответствии с предпочтительным вариантом осуществления изобретения в качестве устройства сопряжения между защитной схемой (201, 202 и 206) и образцом жидкости (299) используется структура конденсатора. Следующие аспекты изобретения направлены на способы, предназначение, по существу, для обеспечения зашиты от ЭСР ИСПТ-датчиков, использующих упомянутое выше средство сопряжения (203), например структуру конденсатора, и процессы, предназначенные для изготовления нового устройства сопряжения на кремниевой пластине. Техническим результатом изобретения является обеспечение защиты от электростатического разряда, при одновременном исключении трудностей создания металлического электрода, предназначенного для надежного низкоимпедансного контакта с жидкостью. 7 с. и 12 з.п.ф-лы, 4 ил.
|