|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2133997 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/3063 | | Аналоги изобретения: | SU 809434 A, 28.02.81. JP 6086826 A, 16.05.85. SU 463174 A, 30.06.75. US 5681448 A, 28.10.97. WO 9009469 A1, 23.08.90. JP 5218072 A, 19.05.77. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Скупов В.Д.
Смолин В.К. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: электронная техника. Сущность изобретения: в способе электрохимической обработки полупроводниковых пластин, включающем закрепление пластины на аноде, размещение анода в электрохимической ячейке параллельно свободной поверхности электролита, осевое вращение цилиндрического электрода-катода дополнительно ось вращения перемещают в плоскости, параллельной поверхности обрабатываемой пластины, при этом поверхность цилиндрического электрода выполняют в виде чередующихся участков проводника и диэлектрика. Участки диэлектрика выполняют в виде выступов на поверхности цилиндра и располагают вдоль винтовой линии, при этом участки диэлектрика в процессе перемещения электрода контактируют с поверхностью пластины и упруго деформируют поверхность пластины. Технический результат: повышение однородности структуры и свойств пористого кремния и, как следствие, увеличение выхода годных. 4 з.п.ф-лы, 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента