На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПЛАСТИН | |
Номер публикации патента: 2131155 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/68 | Аналоги изобретения: | JP 61270843 A1, 01.12.86. JP 61218142 A1, 27.09.86. SU 957322 A, 17.09.82. GB 1501693 A, 22.02.78. WO 9209103 A1, 29.05.92. EP 0063283 A3, 27.10.82. |
Имя заявителя: | Воронежская государственная технологическая академия | Изобретатели: | Абрамов Г.В. Битюков В.К. Назина Л.И. Попов Г.В. | Патентообладатели: | Воронежская государственная технологическая академия |
Реферат | |
Использование: при изготовлении полупроводниковых пластин, а также в машиностроении. Сущность изобретения: устройство для ориентации пластин содержит столик с наклонными и одним вертикальным соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, причем ограничители выполнены в форме конического гнезда.
|