|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2129321 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/316 | | Аналоги изобретения: | SU, авторское свидетельство N 297705, кл. C 23 C 11/08, 1968. 2. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров.-М.: Радио и связь, 1987, с.130-133. |
| Имя заявителя: | Дагестанский государственный технический университет | | Изобретатели: | Саркаров Т.Э.
Хаспулатов Х.А.
Исабеков И.М. | | Патентообладатели: | Дагестанский государственный технический университет |
Реферат | |
Использование: получение борсодержащих пленок. Процесс получения борсодержащих пленок ведут из газовой фазы, содержащей гомогенную смесь тетрахлорида кремния (SiCl4), кислорода с добавкой окиси азота и трихлорида бора при температурах 50 - 200oС, при следующем соотношении компонентов, об.%: SiCl4 16-17, О2 16-17, ВСl3 1,2-2,5, NO - остальное.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента