|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ УСТРАНЕНИЯ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ |  |
Номер публикации патента: 2124784 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/322 | | Аналоги изобретения: | RU 94041069 A1, 1996. SU 758316 A, 1980. SU 1102416 A, 1989. US 4018626 A, 1977. GB 2081008 A, 1982. FR 2317769 A1, 1977. |
| Имя заявителя: | Мокров Александр Борисович | | Изобретатели: | Мокров А.Б.
Новиков В.В. | | Патентообладатели: | Мокров Александр Борисович
Новиков Владимир Васильевич |
Реферат | |
Использование: технология производства электронных компонентов, интегральных схем и устройств функциональной электроники. Сущность изобретения: для устранения структурных дефектов в твердом теле, в том числе пленке, возбуждают акустические колебания с длинами волн, соизмеримыми с эффективными размерами дефектов, и с энергией, превышающей энергию активации дефектов. Техническим результатом изобретения является устранение структурных дефектов в твердых телах при комнатной температуре, что обеспечивает исключение побочных нежелательных процессов диффузии и испарения примеси, расползания границ гетероструктур, испарения и диссоциации приповерхностного слоя подложки, возникновения термической неоднородности и термических напряжений; сокращение длительности процесса и энергозатрат, создание возможности устранения дефектов в ходе технологических операций вакуумного напыления и эпитаксиального наращивания пленок. 2 з.п.ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента