|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2105381 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/322 | | Аналоги изобретения: | 1. Лабунов В.А. и др. Современные методы геттерирования в технологии полупроводниковой электроники. - Зарубежнаая электронная техника. - 1983, N 11, с.3 - 66. 2. Немцов Г.З. и др. Очистка кремния от примесей с помощью внутреннего геттера. Микроэлектроника. - 1983, т.12, вып.3, с.432 - 439. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Петуров Н.И.
Скупов В.Д.
Синегубко Л.А.
Кабальнов Ю.А.
Соловьев А.И.
Смолин В.К. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: в области микроэлектроники для подготовки кремниевых пластин-подложек в производстве дискретных приборов и интегральных схем. Сущность изобретения: предварительно пластины упруго деформируют изгибом так, чтобы рабочая сторона пластины была вогнутой, затем производят 3-х стадийный отжиг платины в деформированном состоянии в инертной атмосфере вначале при температуре из интервала 1270 - 1470 К, затем снижают температуру со скоростью 1,4 - 1,6 град./мин., выдерживают пластины при температуре из интервала 1070 - 1120 К, поднимают температуру со скоростью 1,4 - 1,6 град./мин., и вновь выдерживают при температуре из интервала 1270 - 1470 К. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента