|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2099816 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/68 | | Аналоги изобретения: | JP, заявка, 61-218142, кл. H 01 L 21/68, 1986. JP, заявка, 61-270843, кл. H 01 L 21/68, 1986. |
| Имя заявителя: | Воронежская государственная технологическая академия | | Изобретатели: | Абрамов Г.В.
Битюков В.К.
Назина Л.И.
Попов Г.В. | | Патентообладатели: | Воронежская государственная технологическая академия |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Сущность изобретения заключается в следующем. Устройство для ориентации пластин содержит столик с наклонными и одним вертикальным соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, причем ограничители выполнены в виде усеченной многогранной пирамиды, нижним основанием которой является меньший из многоугольников, все грани усеченной пирамиды, за исключением последней, образуют правильную пирамиду, а последняя грань смещена так, что соответствующая сторона многоугольника нижнего основания перемещена к центру многоугольника на величину, равную стреле хорды базового среза, наклонные сопла равномерно расположены по окружности, а вертикальное расположено в плоскости симметрии смещенной грани на расстоянии от центра устройства, равном радиусу пластины за вычетом половины величины стрелы хорды базового среза, дополнительно в столике установлены датчики конечного положения. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента