|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2099815 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/68 | | Аналоги изобретения: | JP, заявка, 61-270843, кл. H 01 L 21/68, 1986. JP, заявка, 1-58658, кл. H 01 L 21/68, 1986. |
| Имя заявителя: | Воронежская государственная технологическая академия | | Изобретатели: | Абрамов Г.В.
Битюков В.К.
Назина Л.И.
Попов Г.В. | | Патентообладатели: | Воронежская государственная технологическая академия |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Сущность изобретения заключается в следующем. Устройство для ориентации пластин содержит наклонный столик с соплами и боковыми ограничителями, которые наклонены к поверхности столика, сопла выполнены трех видов: первые два расположены на осях, параллельных направлению транспортирования, часть этих сопел перпендикулярна поверхности столика и выполнена с одинаковым шагом, остальные наклонены к поверхности столика и расположены неравномерно, а сопла третьего вида расположены вдоль оси, перпендикулярной направлению транспортирования, и наклонены к поверхности столика, причем одно из них наклонено в сторону, противоположную наклону остальных, при этом на столике дополнительно установлен датчик наличия пластины. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента