|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПРИМЕСЕЙ С ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2099811 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/268 | | Аналоги изобретения: | 1. US, патент, 4292093, кл. H 01 L 21/265, 1981. 2. US, патент, 4181538, кл. H 01 L 21/26, 1980. 3. US, патент, 4680616, кл. H 01 L 31/06, 1987. 4. US, патент, 3464534, кл. B 41 J 29/16, 1969. |
| Имя заявителя: | Колдрен Лимитед Партпершип (US) | | Изобретатели: | Одри С.Энгельсберг[US] | | Патентообладатели: | Колдрен Лимитед Партпершип (US) | | Номер конвенционной заявки: | 216903 | | Страна приоритета: | US |
Реферат | |
Использование: в технологии изготовления микроэлектронных устройств. Сущность: способ и устройство для удаления нежелательных поверхностных примесей с поверхности подложки мощным излучением позволяет удалять нежелательные поверхностные примеси, не изменяя расположенной ниже молекулярной структуры подложки. Источник мощного излучения может представлять собой импульсный лазер. 2 с. и 20 з.п. ф-лы, 2 табл., 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента