Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК

Номер публикации патента: 2098887

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 96115487 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/322    
Аналоги изобретения: Лабунов В.А. и др. Современные методы геттерирования в технологии полупроводниковой электроники. - Зарубежная электронная техника. - М.: ЦНИИ "Электроника", 1983, N 11, с. 3 - 66. Лабунов В.А. и др. Пористый кремний в полупроводниковой электронике.- Зарубежная электронная техника. - М.: ЦНИИ "Электроника, 1978, N 15, с. 44 - 45. 

Имя заявителя: Научно-исследовательский институт измерительных систем 
Изобретатели: Скупов В.Д. 
Патентообладатели: Научно-исследовательский институт измерительных систем 

Реферат


Использование: в производстве полупроводниковых приборов, а именно в технологии изготовления кремниевых пластин-подложек с низким содержанием дефектов и фоновых примесей. Сущность изобретения: производят формирование анодной обработкой в растворе фтористоводородной кислоты на нерабочей стороне подложки слоя пористого кремния, при этом во время анодирования подложки упруго деформируют изгибом, затем производят отжиг в инертной атмосфере, при этом также подложку упруго деформируют изгибом, меняя знак деформации на противоположный, производят окисление пористого кремния и удаление окисленного слоя. 2 табл.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"