На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЦ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ НА ПОДЛОЖКАХ CdXHg1XTe | |
Номер публикации патента: 2097871 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L021/465 H01L021/306 | Аналоги изобретения: | Бердченко Н.Н. и др. Свойства поверхности узкозоных полупроводников и методы ее защиты. - Зарубежная электронная техника, 1981, N 3 (235), с. 3. US, патент N 3671313, кл. H 01 L 7/00, 1972. |
Имя заявителя: | Институт физики полупроводников СО РАН | Изобретатели: | Ромашко Л.Н. Мясников А.М. Ободников В.И. Овсюк В.Н. Васильев В.В. Земцова Т.А. | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников СО РАН |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и может найти применение для создания матриц, например, п-р переходов или других полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: способ изготовления матриц полупроводниковых приборов на подложках CdxHg1-xTe включает в себя химическую полировку в бромном травителе, промывку поверхности в органических растворителях, нанесение диэлектриков и напыление металла, причем после травления и промывки поверхности в органических растворителях поверхность подложек обрабатывают во фторсодержащем водном растворе с концентрацией фтора 3 - 20% с последующей промывкой в воде. Предлагаемый способ позволяет достаточно простым дешевым способом, не требующим дополнительных трудоемких и дорогостоящих операций и оборудования, изготовлять матрицы стабильных однородных приборов с достаточно высокими параметрами. 4 ил.
|