На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУРАХ | ![](Images/non.gif) |
Номер публикации патента: 2095885 | ![](Images/empty.gif) |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L021/66 | Аналоги изобретения: | 1. Концевой Ю.А., Кудин В.Д. Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов. - М.: Энергия, 1973, с.88 - 90. 2. RU, патент, 2033660, кл.H 01L 21/66, 1995. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Изобретатели: | Скупов В.Д. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | ![](Images/empty.gif) |
Использование: измерительная техника. Сущность изобретения: способ контроля степени дефектности диэлектрических пленок за счет активации процессов перестройки дефектов в пленках включает измерение показателя преломления пленки эллипсометрическим методом при нагреве и охлаждении структур в интервале температур от комнатной до 350-400K. Перед измерениями структуры в течение 10-20 мин облучают альфа-частицами с энергией 4-5 МэВ и плотностью потока 108-109 см-2·с-1, о качестве пленки судят по изменению показателя преломления. 1 табл.
|