|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НЕЙТРОННО - ТРАНСМУТАЦИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2089011 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/263 | | Аналоги изобретения: | 1. Смирнов Л.С. и др. Легирования полупроводников методом ядерных реакций. - Новосибирск: Наука, 1981, с. 138. 2. Нейтронно-трансмутационное легирование полупроводников./ Под ред. Дж. Миза. - М.: Мир, 1982, с. 104 - 122. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | | Изобретатели: | Варлачев В.А.
Солодовников Е.С.
Фотин А.В.
Цибульников Ю.А. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете |
Реферат | |
Использование: в технологии изготовления полупроводниковых материалов для приборов электронной и электротехнической промышленности. Сущность изобретения: для использования каналов реактора, в которых невозможно за зоной облучения разместить контейнер со слитками кремния, в способе нейтронно-трансмутационного легирования кремния, включающем возвратно-поступательное перемещение контейнера через зону облучения по каналу реактора и контроль за усредненными по длине слитков флюенсом нейтронов, предварительно в канале реактора формируют нейтронное поле и вдоль канала выбирают участок, на котором распределение плотности потока тепловых нейтронов является четной функцией. В контейнере размещают слитки кремния общей длиной не более длины выбранного участка в канале. В процессе облучения контейнер со слитками перемещают по каналу из одного крайнего положения, в котором середина длины слитков совмещена со срединой выбранного участка. После облучения половинным от требуемого флюенсом нейтронов процесс облучения прерывают, контейнер разворачивают, меняя местами его торцы, и точно так же дооблучают контейнер оставшимся флюенсом нейтронов. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента