|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПАРОФАЗНО - ХИМИЧЕСКОГО СТИМУЛИРОВАННОГО ПЛАЗМОЙ ОСАЖДЕНИЯ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОЙ ПЛЕНКИ |  |
Номер публикации патента: 2087048 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/20 | | Аналоги изобретения: | 1. Chin J. Sci.instr. 1989-10, N 2, р. 121 - 124. 2. Максимович Н.П. и др. Полупроводниковые датчики для контроля состояния воздушной среды. Измерения, контроль, автоматизация. 4 (72), 1982, с. 50 - 57. 3. Thin Solid Films. (189), 1990, N 2, р. 293 - 302. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Гусев В.К.
Кондрашевский В.П.
Самохвалов Р.В.
Донина М.М. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: аналитическое приборостроение, а именно способы получения газочувствительной пленки датчиков газа. Сущность изобретения: помещают подложку в реактор, производят предварительную откачку реактора, нагрев подложки до температуры 280-300oC, напуск в реактор смеси реактивных газов, состоящей из кислорода и тетраэтилолова. Устанавливая конкретное соотношение компонентов по объему из интервала кислород: тетраэтилолово как 0,2-3:1 и выдерживая подложку при плотности мощности ВЧ разряда от 0,1 до 0,4 Вт/см2, получают пленки, обладающие чувствительностью к различным газам, 5 з.п.ф-лы, 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента